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浅谈各类传感器比较抽真空机

2022-07-13 15:00:10 传感器

目前市面上主要的几种压阻式传感器有这么几种：陶瓷压阻式，扩散硅压阻式，应变片压阻式，微熔压阻式。电容式由于体积较大，一般用来组装3051式压变，有个别小量程的小型压力变送器也用电容的在做。

笔者认为，目前大多数工业现场0.25％的精度已基本满足要求，我说的这个精度是指总误差，我想国内现在一般都在0.5％左右吧，当然有好有坏。根据这几种传感器的封装方式，从价格，密封，过载，稳定性，精度，测量范围方面比较下。

陶瓷压阻式：

价格低，工艺相对简单

密封性差，陶瓷传感器的安装的机械尺寸要求严格，传感器只能在底部以O形圈形式密封，且容易受安装应力影响。

过载性差，陶瓷传感器由于本身只具备不到2倍的过载能力，且本身传感器输出小，不能用大量程来调制小量程变送器。

安全过载范围不超过1.5倍，三到四倍膜片就会爆

稳定性一般：这个多方面了

精度一般：同上

量程范围：小量程做不了，大量程不敢用

扩散硅压阻式：

价格较贵，生产工艺复杂

密封性较好：扩散硅采用O形圈密封，O形圈已固定在传感器柱形基座上，对安装尺寸要求一般

过载性一般：传感器信号较大，可以用大量程传感器调制小量程变送器，但压力是通过硅油传递到敏感元件上，液体容易产生二次液压冲击。

稳定性高：由于压力通过油液传递，传感器是稳定性是这几种最好的。

精度高：同上

量程范围好：也是这几种传感器最好的，但是不适合用来测量mBAR级压力。这点参考扩散硅元老KELLER

玻璃微熔：

价格一般

密封性高：不存在泄露可能性，几种最好

过载性高：几种最好。传感器本身信号较大，适合做小量程。

稳定性好：就大厂在做，工艺有保障

精度较好：同上

量程范围：小量程做不了，2BAR以下

应片式不讲了。没用过。以上几种参数性能是传感器的固有封装形式决定，具体的性能取决于传感器生产厂家工艺。